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名称：扫描电子显微镜

型号：Sigma 300

品牌：Carl Zeiss

用途：观测微纳结构几何形貌、表征结构尺寸最主要手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,最终获得成像结果。

性能：具有Inlens模式和SE2两种探测模式，装配有5轴全自动样品台。最高成像分辨率≤5nm；放大倍数从10x至1000000x，最大加速电压30kv，探针电流范围从3pA至20nA，样品室尺寸为365mm，可实现晶圆级检测。