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名称：光栅干涉仪

品牌：自研

用途：基于自溯源光栅搭建，主要用于纳米位移测量和相对位置测量。

性能：干涉仪采用激光波长为405nm，分辨率可达0.3nm，工作距离为2-100mm，最大测量速度为2mm/s。该系统以光栅节距为测量基准，且光栅节距直接溯源至铬跃迁频率，故该系统具有溯源性的特点，且具有极高准确性、重复性和稳定性。