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名称：皮米级位移干涉测量仪

型号：QuDIS

用途：主要功能是进行相对距离与绝对距离测量，可用于振动分析、漂移测量、位置角度测量、速度与加速度测量等。

性能：系统所使用激光波长为1535nm，分辨率达1pm，信号稳定性小于0.05nm，工作距离为20-1400mm，最大测量速度为1m/s，具有3个传感通道。